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您現在所在位置：首頁 > 技術中心 > 有了光學顯微鏡導航，掃描電鏡測試更加方便

　更新時間：2017-09-19　點擊量：4485

樣品名稱：沉積巖

樣品類型：樹脂鑲嵌

是否噴金：未噴金

設備型號：飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX

樣品杯：降低荷電效應金相樣品杯

測試項目：光學顯微鏡；掃描電鏡；能譜：EDS mapping

測試目的：能譜元素分析，重點檢驗 Mn 元素的含量以及分布情況

測試概況：對樣品斷口進行樹脂包埋制樣，通過飛納電鏡自帶光學顯微鏡觀察，樣品整體為黃褐色，而樣品機體上存在黑色線條，對其進行掃描電鏡背散射探頭成像。使用能譜進行面掃分析發現，Mn 元素整體含量較低，但集中分布于同一個沉積層上。

制樣

將沉積巖樣品取一小塊，斷口平面垂直于原始黑色表面，將斷口使用樹脂包埋，使 400,800,2000 目砂紙進行拋光。

圖1. 樹脂包埋樣品

光學顯微鏡成像

使用飛納電鏡內置彩色光學顯微鏡對樣品進行觀察。樣品整體呈黃褐色，樣品中央位置存在黑色線條。

圖2. 飛納電鏡光學顯微鏡成像，放大倍數20倍

圖3. 飛納電鏡光學顯微鏡成像，放大倍數41倍

掃描電鏡成像

切換到電子顯微鏡模式，由于采用降低荷電效應樣品杯，實現了無須噴金直接觀看。對于此類樣品，我們采用背散射電子探測器（BSD）進行成像，飛納電鏡高亮度 CeB6 燈絲與高靈敏度背散射電子探測器，可以準確分辨出不同元素的成分襯度：元素越重，背散射圖像越亮。

通過光學導航系統，首先定位至光學導航中黑色的線條位置，圖4。通過背散射圖像發現，黑色線條對應著背散射圖像中顏色發亮的線條，圖5。根據經驗，我們認為該位置存在相對更重的元素分布。

圖4. 光學導航系統

圖5. 掃描電鏡背散射（BSD）探頭成像

掃描電鏡能譜（EDS）分析

整個視野進行能譜面掃描分析。測試結果如下所示：對于我們重點關注的 Mn 元素，其重量百分比為 0.55%，也就是 5500 mg·Kg-1.

FOV: 537 µm, Mode: 15kV - Map, Detector: BSD Full, Time: SEP 12 2017 16:47

圖6.元素分布與含量

對所有元素分布進行 Mapping 掃描，結果顯示 Mn 元素的集中區域為線條狀，對應一個薄薄的沉積層。

Oxygen 氧

Silicon 硅

Aluminium 鋁

Iron 鐵

Calcium 鈣

Magnesium 鎂

Potassium 鉀

Manganese 錳

圖6. 能譜 EDS mapping 各元素分布情況

結論

使用飛納電鏡，對未噴金樣品進行分析，通過光學顯微鏡發現黑色的沉積層，使用優良的背散射成像看到該層為相對原子序數更重的元素聚集，通過能譜發現該沉積層存在 Mn 元素的聚積。